第292章 浸润式光刻
一直忙活到深夜，最后一台设备才终于稳妥地安置就位。
张如京轻轻抚摸着这些饱经沧桑的“老伙计”，眼神中流露出一丝缅怀。
“这就是制造芯片的核心设备？”陈天望着眼前这个比想象中更为精巧的光刻机，不禁向前探身。
两世为人，他也是第一次见到真家伙，下意识就要伸手去触碰。
“当心！”张如京一个箭步上前拦住：“你连防静电设备都没带，一不小心就可能损伤内部精密零件。”
陈天讪讪地收回手，却仍忍不住围着机器打转，像是看到一个大号玩具。
这台凝聚着人类智慧结晶的设备，对任何男人都有着一股致命的吸引力。
“张老，给我讲讲这个宝贝的故事吧。”
张如京目光变得深远：“这台老伙计已经服役八年了。”
注意到陈天略显失望的神情，他轻笑一声：“可别小看它，这在国内依然是制程最先进的光刻机了。”
“193纳米的duv（深紫外光源）光刻技术，至今仍是许多晶圆厂的看家本领。”
陈天眼前一亮，追问道：“也就是说我们现在就能生产193纳米的芯片？”
“不够准确，光刻机的193纳米指的是光源波长，这并不直接等同于芯片制程。”张如京纠正道。
“芯片生产环节还受线宽、折射等多重因素影响，理论上来说，193纳米的光源通过多次曝光可以生产出低于193纳米的芯片。”
怕陈天听不懂，张如京还举了个生动的例子：
“如e电脑使用的英伟达geforce2显卡、奔腾3处理器都是180纳米制程，而这些芯片都是通过193纳米的光刻机生产出来的。”
“甚至我听说台积电明年就准备量产130纳米芯片，也是用的这种型号光刻机。”
张如京无疑是个好老师，经过他这一番生动的解释。
陈天基本弄清楚了光刻机和芯片之间的影响关系。
陈天满脸谦虚的请教道：“那您现在掌握的技术，能量产什么制程的芯片？”
“180纳米，”张如京明显有着自己的骄傲，接着补充：“130纳米也有了头绪，不会落后台积电太多。”
陈天满脸钦佩，他可是知道张如京技术方面不比台积电的张中谋差。
不然当初他创立的“世大”也不会遭到台积电的打压式收购，盖因抢了台积电大量订单，威胁到了对方地位。
现在落后台积电半年时间，全因被台积电暗算，最近在筹备中芯国际而耽误了时间。
张如京接着说道：“193纳米光刻技术是道坎，已经困扰了全球顶尖半导体公司数年之久。”
“直到最近，svg和尼康才通过157纳米的氟分子激光实现技术突破，但成本极高，且还没能生产出157纳米光刻机。”
陈天若有所思。
张如京的讲解让他突然意识到一个关键问题：前世那个如雷贯耳的荷兰巨头，此刻竟没被提及。
“荷兰AsmL(阿斯麦)呢？他们现在的技术还比不上尼康吗？”陈天忍不住问道。
张如京略显诧异地看了他一眼：“AsmL自然比不上尼康。”
“他们连157激光需要的反折射镜头技术都没突破，还卡在193这个坎上。”
见陈天面露疑惑，张如京又补充道：
“在米国能源部和几大芯片巨头组建的euv光刻联盟里，AsmL连核心成员都算不上，只是个打杂的小角色。”
他顿了顿，意味深长地看了陈天一眼：“难为你居然知道这家二线光刻机厂商。”
张如京想了想他对半导体行业重视程度，只能归咎于对方是做了大量功课。
陈天没有解释，只是陷入沉思。
他前世曾看过一篇关于AsmL关键转折的报道：
在自身迟迟无法突破193这个重要关卡，AsmL最终另辟蹊径。
2001年，这家荷兰公司做了一笔震惊业界的买卖。
以16亿美元天价收购市值仅10亿的svg。
当时svg市场份额不足8%，年营收仅2.7亿美元，193产品性能甚至不如AsmL自家产品。
华尔街一片哗然，AsmL股价当日暴跌7.5%。
但后来的历史证明，这笔交易买到了光刻机行业最珍贵的两样东西：时间，以及svg掌握的成熟157光学技术。
正是这次豪赌，让AsmL在未来的光刻机战争中抢占了先机。
想到这，陈天不禁斟酌着开口：“您说...我们有没有可能收购svg？听说他们最近经营状况不太乐观。”
“想都别想。”张如京斩钉截铁地说道：“就算svg明天就要破产清算，米国人宁可把设备砸了也不会让我们碰一下。”
陈天苦笑着点头。
他想起前世资料里记载，即便是荷兰盟友AsmL收购svg时，也遭到了米国外国投资委员会的百般刁难。
西方人也不都是一家子。
最终AsmL不得不接受一系列苛刻条件：不许收购svg负责打磨镜片的子公司tisley，以及保证各种技术和人才留在米国。
这些限制的条款，反而让AsmL深度绑定米国技术体系，为日后垄断euv市场埋下伏笔。
不知道也就罢了，知道宝藏却拿不到手，这让陈天心痒难耐。
“那...如果还是通过idg这样的国际资本暗度陈仓呢？”陈天仍不死心，压低声音问道：“就像我们收购世大这样？”
“世大是台岛企业，技术也不算最前沿，但svg？”他冷笑一声：“那是米国人的命根子，你觉得他们会允许技术外流？”
见陈天还想说什么，张如京直接摆手：
“别天真了，idg这些资本确实唯利是图，但他们更清楚什么钱能赚，什么钱会要命。”
“我知道你在想什么，”张如京叹了口气，语气缓和下来：“但有些壁垒，不是靠商业手段就能突破，只能靠我们自己。”
“要是真这么简单就能突破封锁，国家早就出手收购了，何至于被卡脖子这么多年？”
张如京这番话如一盆冷水浇下，陈天不得不彻底打消收购svg的念头。
但让他就此放弃光刻机这个半导体产业的皇冠明珠，又实在心有不甘。
“国内...总该有光刻机厂商吧？”陈天不死心地追问：“哪怕技术落后几代，至少是个起点。”
张如京摇头叹息：“国内还在用接触式光刻机，技术和西方至少有二十年差距。”
他目光带着几分无奈：“这种落后技术，投入再多也是徒劳。”
见陈天神色黯然，张如京突然失笑：“你这孩子，胃口未免太大。”
他指了指身旁的设备：“能把世大的技术和设备带回来，已经是天大的功劳，至少给国内半导体发展抢回五年时间，这还不够？”
陈天谦逊地笑了笑：“这都是您的技术，我只是物归原主。”
“少来这套。”张如京摆摆手，神色忽然严肃。
“世大被台积电收购后，这些技术就与我无关了，严格来说，我现在用这些技术都算侵权，台积电随时可以起诉我。”
他望向厂房里整齐排列的设备，语气复杂：“现在这些技术随世大到了你手里，反倒是我这个老头子沾了你的光。”
陈天笑而不语。
张如京还真没猜错，在前世轨迹中，正是因为他使用自己的技术创建中芯国际，被台积电以侵权为由告上法庭。
那场官司不仅让中芯巨额赔偿，过了几年更迫使这位半导体教父黯然离职。
而现在，历史的轨迹已经悄然改变。
陈天眼中闪过一丝精光，光刻机可不是只有干刻法。
他想起一个可能改变游戏规则的技术路径——浸润式光刻。
如果能抢在台积电之前弄出浸润式光刻技术，实现弯道超车也不是没有可能。
当初AsmL就是通过和台积电合作开发浸润式技术，成功干掉了尼康这个半导体霸主，后来居上成为全球最大的光刻机生产商。
但光靠他可搞不出来这项技术，陈天只知道浸润式需要水，通过水的折射达成事半功倍的效果。
至于其它的，让他这个前世网吧小老板说出个所以然来就是难为他了。
“张老，”陈天故作随意地问道：“您认识林本坚吗？”
“林本坚？”张如京猛地抬头：“你怎么会知道他？”
陈天早就准备好了说辞：“我一直在物色半导体人才，通过猎头打听到这位在iBm工作的大牛。”
他耸耸肩，装作漫不经心的样子：“听说他在光学领域很有建树，想看看能不能挖来中芯。”
“他在iBm干了三十年，从没踏足过国内...”他狐疑地打量着陈天：“你确定只是通过猎头打听到的？”
陈天能感觉到张如京目光中的探究，但他面不改色：“现在搞半导体，人才最重要，我自然要下足功夫搜罗各方英才。”
张如京沉默片刻，忽然笑了：“有意思，林本坚确实是个奇才，不过...你想挖iBm的墙角怕是不太容易。”
陈天意味深长地笑了笑。
他可是很清楚对方2000年加入了台积电，2002年提出浸润式光刻构想，彻底改写了光刻机行业的格局。
“如果他能来的话，给他中芯副总裁职位，年薪随便开。”
陈天想到现在已经六月份，搞不好对方已经加入了台积电，再次加注：“另外，我愿意拿出5%的中芯股份赠予他，作为技术入股。”
“你疯了？”张如京压低声音：“5%的股份你知道值多少钱吗？更何况......你怎么就确定他值这个价？”